化学气相渗透（CVI）设备，可以实现化学气相渗透（CVI）、化学气相沉积（CVD）以及高温真空（或常压）烧结等功能。既可常压沉积（渗透）和烧结，又可真空沉积（渗透）和烧结。
其主要特点：
.冷壁真空炉设计，不锈钢，具有冷水套隔层。
.装料、卸料方便。
.石墨热阻热区，适用于 CVD 工艺的料盘。
.可以选用感应加热，用于碳CVI应用或超高温要求。
.立式顶部／底部装载设计，也可以根据需要卧式矩形设计
.感应加热工作温度：最高2900°C。对于较低工作温度，采用热阻加热。
.真空泵系统包括机械泵／罗茨泵，可选液环泵或干泵系统，与反馈回路控制阀一起使用，提供稳定恒定压力。特别过滤器减少磨损。
.系统控制：PLC工业可编程控制器或者使用CVI定制的HMI 软件系统的PC控制，具有数据采集及远程控制功能。
.惰性气体及反应气系统采用电子质流控制，保证 CVD应用准确、灵活地控制。多喷嘴喷淋系统可以根据装载量调整气流量与进气模式。
抗腐蚀的气压计：提供准确的压力值，不受腐蚀气体影响。
